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PFMS脉冲磁控溅射电源
 

PFMS系列脉冲磁控溅射电源适用于金属、合金及石墨等靶材。能获得均质性、耐腐蚀性、耐磨性、粘性、硬度等方面的优质膜层。可以作为DC的替代品,可以产生高等离子密度和离子流密度。

主要适用于:金属膜层、合金膜层、碳膜以及氮化膜等。

输入参数:

供电电压:

3×200V±10%

3×380V±10%

供电频率:

50Hz/60Hz

输出参数:

输出功率:

10KW~150KW

输出频率:

40KHz~350KHz

输出电压:

500V~1200V

输出电流:

20A~400A

稳流精度:

1%

冷却方式:

水冷+风冷

灭弧时间:

3ms~100ms

工作模式:

恒流、恒功率

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