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PFMS脉冲磁控溅射电源 | |||||||||||||||||||||||||
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PFMS系列脉冲磁控溅射电源适用于金属、合金及石墨等靶材。能获得均质性、耐腐蚀性、耐磨性、粘性、硬度等方面的优质膜层。可以作为DC的替代品,可以产生高等离子密度和离子流密度。 主要适用于:金属膜层、合金膜层、碳膜以及氮化膜等。
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