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DFMS直流磁控溅射电源 | |||||||||||||||||||||||||
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DFMS系列直流磁控溅射电源适用于金属膜(如:金、银、钛、铝、镍等)具有均匀优质的膜层质量。此电源用于磁控溅射的单阴极系统、双阴极系统。高功率的输出提高了生产效率。 主要适用于:太阳能电池芯片、建筑玻璃膜层等。
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DFMS系列直流磁控溅射电源适用于金属膜(如:金、银、钛、铝、镍等)具有均匀优质的膜层质量。此电源用于磁控溅射的单阴极系统、双阴极系统。高功率的输出提高了生产效率。 主要适用于:太阳能电池芯片、建筑玻璃膜层等。
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