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DFMS直流磁控溅射电源
 

DFMS系列直流磁控溅射电源适用于金属膜(如:金、银、钛、铝、镍等)具有均匀优质的膜层质量。此电源用于磁控溅射的单阴极系统、双阴极系统。高功率的输出提高了生产效率。

主要适用于:太阳能电池芯片、建筑玻璃膜层等。

输入参数:

供电电压:

3×200V±10%

3×380V±10%

供电频率:

50Hz/60Hz

输出参数:

输出功率:

10KW~200KW

输出频率:

DC

输出电压:

800V~1200V

输出电流:

20A~500A

稳流精度:

1%

冷却方式:

水冷+风冷

灭弧时间:

3ms~100ms

工作模式:

恒流、恒功率

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