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MFMS-I中频电源
 

MFMS-I系列中频电源适用于孪生靶磁控溅射,有宽泛的输出频率(20KHz~120KHz)和输出功率(20Kw~50Kw,前沿的电弧管理技术和极低的残余电弧能量。

此电源在装饰镀、连续镀有成熟的应用(ITO膜、太阳能电池制作、平板显示器、介质膜等)。适用于多种工艺和应用,能沉积超薄的均质的薄膜。

输入参数:

供电电压:

3×200V±10%

3×380V±10%

供电频率:

50Hz/60Hz

输出参数:

输出功率:

10KW~150KW

输出频率:

20KHz~120KHz

输出电压:

500V~3000V

输出电流:

20A~70A

稳流精度:

1%

冷却方式:

水冷+风冷

灭弧时间:

3ms~100ms

工作模式:

恒流、恒功率

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