离子源电源系列可分为直流离子源电源和脉冲离子源电源，可以产生均匀、单一能量的离子束。适用于真空镀膜前的清洗和辅助沉积。
输入参数：
供电电压：
3×200V±10%
3×380V±10%
供电频率：
50Hz/60Hz
输出参数：
输出功率：
10KW
输出频率：
DC或40KHz
输出电压：
1000V~2000V
稳流精度：
1%
冷却方式：
水冷+风冷
灭弧时间：
3ms~100ms
工作模式：
恒流、恒功率
中文版
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