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空心阴极电源
 

本电源用于空心热阴极等离子电子束蒸发源(HCD枪)实现金属材料蒸发,此电源工作效率及稳定性极高。

输入参数:

供电电压:

3×200V±10%

3×380V±10%

供电频率:

50Hz/60Hz

输出参数:

主束功率:

30KW

引束功率:

10KW

稳流精度:

1%

冷却方式:

水冷

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