本电源用于空心热阴极等离子电子束蒸发源(HCD枪)实现金属材料蒸发,此电源工作效率及稳定性极高。
输入参数:
供电电压:
3×200V±10%
3×380V±10%
供电频率:
50Hz/60Hz
输出参数:
主束功率:
30KW
引束功率:
10KW
稳流精度:
1%
冷却方式:
水冷